基于光学偏振法的直线度误差测量
来源：激光技术杂志2025年第5期北京时间：
作者：孙怡, 张宝武, 王依兵, 刘维, 罗贤欢, 许子杰, 方振远, 朱玲
摘要：为了发展微小角度和直线度误差的测量技术，采用了一种基于光偏振性的直线度误差测量方法。理论推导了由激光斑点侧移量解算角度量的关系式，构建了虚拟仿真系统，考察了该方法的可行性；基于虚拟仿真和软件建模，以一根长度1 m、表面呈现出良好线性特征、符合预期几何精度要求的导轨为对象进行了实验验证，并与自准直仪方法进行了比较。结果表明，该方法和自准直仪测得小角度的正切值在±1.5×10−4范围内吻合得很好。该研究对微小角度和直线度误差的测量是有帮助的。
关键词：物理光学, 直线度测量, 偏振光, 小角度测量
