基于正交试验的超快激光环扫制孔的仿真实验参数优化

来源：激光技术杂志2025年第4期北京时间：

作者：李磊, 华希俊, 解玄, 王昌国, 孙义皓, 张晨榆

摘要：为了优化气体扩散层上微孔的加工质量，采用激光环扫制孔的数值模型和实验研究方法，进行了理论分析和实验验证。结果表明，激光功率对微孔直径影响最大，其次是重复频率和扫描速率；而微孔深度主要受重复频率影响；激光功率对直径的影响趋势为先降后升，重复频率则持续下降；在低加工次数下，盲孔最优参数为功率3 W、频率1100 kHz、速率900 mm/s、间距20 μm、脉宽10 ps；在高加工次数下，通孔最优参数为功率3 W、频率600 kHz、速率900 mm/s、间距20 μm、脉宽10 ps。这一结果对气体扩散层微孔加工具有实际指导意义。

关键词：激光技术, 工艺参数, 正交试验, 超快激光打孔