大口径主镜反射膜生长热应力及重力仿真

来源：激光技术杂志2024年第2期北京时间：

作者：何世昆, 刘中伟, 王磊, 高泽运, 范红梅

摘要：为了充分了解大口径主镜镀膜时热应力及自身重力的分布规律, 达到控制反射镜面形变化、提高成膜质量的目的, 采用有限元分析方法, 对大口径主镜反射膜的生长热应力及重力对反射镜面形的影响进行了理论分析和研究。结果表明, 大口径主镜反射膜更容易在靠近边缘位置处出现剥落和损坏情况; 大口径主镜镀膜过程中, 自身重力引起的反射镜面形变化对镀膜质量会产生较大影响, 需要进行重力消除处理; 3000 mm口径的主镜在采用镜面向上、向下蒸发膜料的方式镀膜时, 需要对支撑方式进行优化设计。该研究为大口径反射镜镀膜时控制热应力及重力对反射镜面形的影响提供了参考。

关键词：薄膜, 大口径主镜, 热应力, 重力, 面形优化