关于检测抛物面反射镜质量的技术研究

来源：激光技术杂志2021年第6期北京时间：

作者：张恒, 付旭东, 陈培锋, 王钇苏, 王英, 龚磊, 蔡雯

摘要：为了对小尺寸抛物面反射镜进行质量检测, 采用平行光聚焦的方法测量焦距, 旋转被测反射镜的方法测量偏心角, 再结合图像处理的方法测量弥散斑大小, 并提出了一种减小测量误差的方法; 对这些测量方法进行了理论分析和实验验证, 得到了待测反射镜的焦距、偏心角和弥散斑大小。结果表明, 焦距的相对误差在0.1%以内, 偏心角误差在7%以内, 弥散斑大小小于0.2mm, 测量结果可靠。该方案设计为其它小口径的非球面的检测提供了很好的思路, 并且为减小测量误差、提高测量精度提供了很好的研究方法。

关键词：测量与计量, 光电检测, 抛物面反射镜, 弥散斑, 焦距, 光轴偏角