玻璃材料激光加工技术的研究进展

来源：激光技术杂志2021年第4期北京时间：

作者：庞继伟, 王超, 蔡玉奎

摘要：玻璃材料因其优良、独特的理化性能在半导体、微流控芯片、微机电系统、光通讯及光存储等新兴领域有广泛的应用。激光技术作为一种新型非接触加工方法，可以对玻璃材料表面或其内部进行高精度、高效率的微加工，在玻璃材料加工领域展现出巨大潜力。归纳了激光刻蚀、激光打孔、激光焊接及激光制备功能结构4种典型的激光加工玻璃工艺的基本原理及关键问题，指出了玻璃材料激光加工的最新研究进展、工艺水平及应用现状，其中激光刻蚀包括了激光直写刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀与激光背部湿法刻蚀; 激光打孔包括了远红外CO2激光打孔、超快激光打孔及改进的打孔方法；激光焊接玻璃工艺包括远红外CO2激光焊接、纳秒激光焊接、超快激光焊接，以及激光制备表面和内部3维功能结构。同时总结了4类激光加工玻璃工艺的优缺点，分析了目前的瓶颈问题。在此基础上，对激光加工玻璃材料的发展前景进行总结和展望。

关键词：激光技术, 玻璃材料加工, 超快激光, CO2激光, 功能结构