利用ITO微纳结构提高石墨烯紫外LED光提取效率

来源：激光技术杂志2021年第2期北京时间：

作者：江达飞, 江孝伟, 方晓敏

摘要：为了改善因为铟锡氧化物(ITO)薄层对紫外光具有高吸收率，从而导致石墨烯紫外LED低光提取效率(LEE)问题，采用ITO微纳结构(矩形和三角形)作为石墨烯紫外LED缓冲层的方法，利用时域有限差分法，对ITO微纳结构进行优化，并对石墨烯紫外LED进行了理论分析。结果表明，当矩形微纳结构厚度为160nm、占空比为0.7、周期为220nm时，在单层石墨烯下紫外LED的LEE可达10.668%;利用矩形微结构作为插入层相比于利用ITO薄层作为插入层的单层石墨烯紫外LED提高了45.06%；而当三角微纳结构在最优参量时，石墨烯紫外LED的LEE仅有6.64%，明显低于ITO薄层石墨紫外LED。该研究可为后续制备高光功率的紫外LED提供理论基础。

关键词：光电子学, 发光二极管, 石墨烯, 光提取效率, 微纳结构, 铟锡氧化物