基于激光加工的玻璃透镜阵列制备

来源：激光技术杂志2021年第2期北京时间：

作者：李乾坤, 刘学青, 成荣

摘要：为了实现蓝宝石微透镜阵列模板的可控制备，采用刻蚀辅助激光加工技术得到了形貌可控、排列均匀的密排步蓝宝石微凹透镜阵列模板，并结合高温浇铸转写技术实现了K9玻璃微凸透镜阵列的快速制备；基于蓝宝石和玻璃之间较大的热膨胀系数差，实现了蓝宝石和玻璃的有效分离。结果表明，所制备的玻璃透镜阵列具有较高的表面平滑度，表面粗糙度仅有2nm，同时保持了高达80%的透过率，在可见波段，对于不同波长的光都展现了清晰的聚焦和成像效果；通过氢氟酸的清洁处理，蓝宝石透镜阵列模板可以实现重复利用。刻蚀辅助激光加工结合高温浇铸转写技术能够实现高平滑玻璃微透镜阵列的快速制备，该技术为硬质材料微纳器件的快速制备提供了参考。

关键词：激光技术, 蓝宝石, 刻蚀, 高温浇铸转写, 微透镜阵列