308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究
来源：激光技术杂志2020年第1期北京时间：
作者：陈星, 游利兵, 代甜甜, 王宏伟, 杨礼昭, 程超, 方晓东
摘要：为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。
关键词：激光技术, 柔性显示, 准分子激光, 激光剥离, 聚酰亚胺薄膜
