激光诱导背向湿式刻蚀过程中工作液体的研究

来源：激光技术杂志2020年第1期北京时间：

作者：谢小柱, 周彩霞, 高勋银, 任庆磊, 胡伟

摘要：为了使用低成本的红外光纤激光器对蓝宝石进行高效率高质量的加工, 采用激光诱导背向湿式刻蚀方法进行了理论分析和实验验证, 研制了一种新型的活性高且稳定性高的混合溶液, 硫酸铜的质量浓度为28g/L、次磷酸钠的质量浓度为40g/L、氨水的质量浓度为45g/L、pH值为12。在相同的加工条件下, 采用硫酸铜水溶液和混合溶液对蓝宝石进行切割。结果表明, 蓝宝石在混合溶液中的切割效率高出硫酸铜水溶液中的5倍左右; 采用混合溶液对蓝宝石进行成形切割, 加工出了高质量的异形蓝宝石零件。此研究对提高低功率激光作用下蓝宝石的加工效率有一定的指导意义。

关键词：激光技术, 混合溶液, 激光诱导背向湿式刻蚀, 蓝宝石, 成形切割