基于共振光隧穿效应的加速度传感器
来源：激光技术杂志2019年第1期北京时间：
作者：白刚, 菅傲群, 邹璐
摘要：为了设计新型的加速度传感器，将共振光隧穿结构应用于传感元件，利用COMSOL软件对传感器的频率响应、灵敏度性能等关键要素进行了模拟仿真分析，搭建了实验平台，验证了共振光隧穿原理。结果表明，基于共振光隧穿效应结构的加速传感器在100Hz~3000Hz范围内、加速度为500m/s2的情况下，灵敏度可达到6.7dB/g。该传感器小巧轻便、结构简单，且具有较高的灵敏度，这为光学传感器的研究提供了新的方法和思路，具有广阔的应用前景。
关键词：传感器技术, 共振光隧穿效应, 加速度传感器, 灵敏度, 谐响应
