皮秒激光旋切加工微孔试验研究

来源：激光技术杂志2018年第2期北京时间：

作者：孙树峰, 廖惠鹏, 吴旭浩, 章斌

摘要：为了解决毫/纳秒激光加工微孔质量低的问题，利用脉冲宽度为200ps的脉冲激光，采用高速旋切法对厚度为0.2mm的SUS 304不锈钢薄板进行直径为200μm的微孔加工试验，用激光共聚焦显微镜观察孔的外观形貌，研究旋切速率、激光功率和离焦量等因素对孔径、锥度和热影响区等加工质量的影响。结果表明，旋切速率对微孔内壁质量有直接的影响；通过提高转速来降低激光脉冲重叠率可以减小微孔内壁的热影响区；适当增加激光功率，能够改善旋切加工微孔切口处的加工质量；采用正离焦加工能够一定程度减小孔的锥度。优化工艺参量能够加工出热影响区小、边缘质量好的小锥度微孔。

关键词：激光技术, 微孔, 高速旋切法, 皮秒激光, 脉冲重叠率, 锥度