皮秒激光抛光KDP晶体的工艺研究

来源：激光技术杂志2018年第2期北京时间：

作者：韩小花, 邓磊敏, 吴宝业, 白克强, 周翔, 刘朋, 段军

摘要：为了改变KDP晶体精密加工难和效率低的状态，采用皮秒超快激光抛光KDP晶体的新方法，系统地研究了激光波长、单脉冲能量密度、激光束入射角、光斑搭接率、扫描方式以及激光焦深等因素对激光抛光KDP晶体质量的影响规律，并对激光与KDP晶体的相互作用机理进行了分析。结果表明，在皮秒激光波长λ=355nm、聚焦镜焦距f=56mm、激光束入射角α=84°、激光重复频率F=800kHz、脉冲能量密度Q=2.4J/cm2、光斑搭接率O=60%、45°多方向交叉扫描以及加工次数T=10次的优化参量条件下，KDP晶体表面粗糙度均方根值可达到76nm。这一结果使激光抛光技术的研究得到了进一步补充。

关键词：激光技术, 激光抛光, 工艺研究, KDP晶体, 表面粗糙度