S-on-1测量方式下薄膜激光损伤的累积效应

来源：激光技术杂志2018年第1期北京时间：

作者：李玉瑶, 张婉怡, 刘喆, 李美萱, 付秀华

摘要：为了研究薄膜激光损伤机理及影响因素，基于平顶光束辐照测量的原理，采用1064nm的Nd：YAG激光器，对电子束热蒸发方式镀制的HfO2薄膜在重复频率激光作用下损伤的累积效应进行了理论分析和实验验证。运用损伤阈值的测量原理，分析了1-on-1和S-on-1两种测量方式的特点，并分别开展了测量实验。采用二分法查找辐照激光能量，每个能量密度辐照20个测试点，应用零几率损伤阈值和最小二乘法拟合确定测量结果。结果表明，对同种薄膜，1-on-1测量方式测得的损伤阈值为15.75J/cm2，S-on-1测量方式测得的损伤阈值为11.90J/cm2；从损伤阈值与损伤形貌两方面的对比表明，S-on-1测量方式体现了典型的累积效应。此结果对深入研究薄膜激光损伤的机理和影响因素具有重要意义。

关键词：薄膜, 损伤阈值, 测量方式, 累积效应, 二分查找, 最小二乘法