SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展
来源：激光技术杂志2017年第3期北京时间：
作者：张辉, 桑胜波, 菅傲群, 段倩倩, 张文栋
摘要：SOI纳米光波导表面粗糙度会显著增加波导散射损耗，降低表面粗糙度是其在许多方面应用中亟待解决的关键问题之一。首先介绍了表面粗糙度概念，总结了表面散射损耗理论方面的研究进展。随后回顾了多种SOI纳米光波导表面粗糙度测量方法，以及在表面形貌表征中存在的问题。此外，还对几种波导表面光滑工艺进行介绍，并结合具体的工作对光波导表面粗糙度各方面研究进展进行了总结。
关键词：集成光学, 光波导, 表面粗糙度, 散射损耗
