长脉宽激光切割聚晶立方氮化硼工艺研究

来源：激光技术杂志2017年第3期北京时间：

作者：贾志新, 黄金刚, 高坚强, 房泽旭, 张亚洲, 崔子月

摘要：为了获得聚晶立方氮化硼（PCBN）最优的激光切割质量和切割效率，依据烧蚀直径和入射激光脉冲能量的函数关系，得出PCBN烧蚀阈值为1.796J/cm2。采用Nd:YAG激光器对型号为BN250的PCBN进行切割试验，分析了切割速率、激光功率以及脉冲频率对切割质量的影响规律。通过切缝的显微观测对比，总结出不同激光工艺参量下PCBN缝宽的变化趋势。结果表明，对于脉宽为100μs的激光，当激光功率为28W、脉冲频率为60Hz、切割速率为20mm/min时，能够获得PCBN激光切割的最优切缝和较高的切割效率。该工艺方法和数据的建立，对今后PCBN或其它超硬材料的激光加工有着重要参考价值。

关键词：激光技术, 激光切割, 聚晶立方氮化硼, 烧蚀阈值, 切割工艺