紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制
来源：激光技术杂志2016年第4期北京时间：
作者：刘佳敏, 陶泽, 张传维, 刘世元
摘要：为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分SiO2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms。结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义。
关键词：测量与计量, 光谱薄膜测厚仪, 紧凑, 逆问题, 干涉, 不确定度
