1维微纳米周期结构的散射测量建模
来源：激光技术杂志2016年第2期北京时间：
作者：尚海, 党学明
摘要：为了研究散射测量的正向测量依据,采用严格耦合波分析理论,对1维矩形面型周期性结构衍射建模,在MATLAB环境下实现严格耦合波分析算法,并讨论了1维周期结构高度、线宽和占空比的测量特性,理论上线宽的测量可以达到纳米级分辨率。结果表明,严格耦合波分析理论精确和高效,对1维微纳米周期结构表现出了良好的测量特性。这为散射测量提供了科学性和可行性依据。
关键词：散射, 微纳米测量, 严格耦合波分析, 光栅
