基于两步相移干涉的微表面形貌检测系统
来源：激光技术杂志2016年第1期北京时间：
作者：蔡怀宇, 李光耀, 黄战华
摘要：为了精确稳定地测量物体微表面形貌,设计了一种基于改进迈克尔逊结构的空间两步相移干涉系统。该系统在泰曼-格林偏振干涉仪的基础之上,使用改进的迈克尔逊结构实现分光,采用偏振方向分别为0和45的两偏振片作为相移器件,在单个CCD相机中同时记录两幅具有90相移的干涉图像,然后由离散希尔伯特变换法提取相位,获取物体表面形貌信息。搭建了两步相移干涉光路,并通过对玻璃平板表面的检测,验证了该系统的可行性。结果表明,在实验室环境下系统重复测量结果的均方根误差小于0.02,在实际微表面测量中具有良好的稳定性。
关键词：测量与计量, 空间相移干涉, 迈克尔逊结构, 希尔伯特变换, 测量重复性
