基于复合光栅镜的角向偏振光产生研究
来源：激光技术杂志2015年第5期北京时间：
作者：卢丽娟, 李波, 王又青, 赵江
摘要：为了得到角向偏振光输出,采用严格耦合波分析方法,设计了一种复合光栅镜。先通过对Ge光栅的伪博世工艺刻蚀特性的研究,得到了高深宽比的无定型Ge光栅。然后在栅槽底部引入了随机分布的Ge纳米针,在该光栅上依次镀金膜和介质保护膜,得到介质-金属复合光栅镜。最后将该复合光栅镜用作轴快流CO2激光器谐振腔尾镜,得550W角向偏振光输出。结果表明,纳米柱及金栅脊的引入使得该复合光栅镜具有很高的偏振选择性。
关键词：激光技术, 角向偏振光, 严格耦合波分析, 复合光栅镜, 伪博世工艺, 纳米柱, 金栅脊
