基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现
来源：电子测量技术杂志2015年第12期北京时间：
作者：姬琪，王红园
摘要：精密定位技术在产品精密加工、精密检测中发挥着重要作用。本文介绍了一种利用直线电机驱动气浮平台实现精密定位的方法，阐述了气浮平台工作原理及设计方案，推导了直线电机的控制模型，并利用新型驱动器实现了闭环控制。最后采用LenScan镜面定位仪对平台定位数据进行了比对，验证了定位平台定位的准确性。结果表明该平台结构可靠、系统运行稳定，X、Y方向精度均达到微米级，满足使用要求。现已应用在对半导体器件几何参量的测试中，效果良好。
关键词：直线电机;气浮导轨;定位平台;闭环控制
