基于嵌入式平台控制的变形镜面形展平研究

来源：电子测量技术杂志2022年第6期北京时间：

作者：张 悦，陈欣扬，王超燕，卜朝晖

单位：1.上海理工大学生物医学工程研究所 上海 200093;2.中国科学院上海天文台 上海 200030

摘要：变形镜是自适应光学系统中最主要的波前矫正器，它可以通过高频地改变镜面的面形来实时补偿波前像差。由压电陶瓷驱动的变形镜在自由状态下并非理想的平坦表面。由这种初始面形误差所产生的光学畸变将严重削弱变形镜闭环控制的性能。在使用变形镜进行光学像差矫正之前，需要首先对变形镜进行镜面展平。本文拟设计一种基于嵌入式平台的变形镜控制系统来实现面形展平和镜面变形。嵌入式平台选用英伟达公司的Jetson Nano开发平台。面形展平的关键环节是需要精确地获得变形镜对每个促动器行程（电压）的光学响应（影响函数），进而计算出响应矩阵。我们设计了基于Arm多核处理器的多线程算法显著提高了响应矩阵的计算速率。受压电材料的迟滞效应影响，变形镜的展平过程需要进行迭代收敛。经过数次迭代后，变形镜的面形误差RMS值由初始时的0.92λ降低到0.03λ，变形镜获得了比较好的展平效果。该系统的设计不但有利于变形镜系统的商用化，且较大程度地提高了变形镜闭环控制的能力，消除了自适应光学系统中变形镜自身的初始像差。

关键词：自适应光学;变形镜;波前像差;Jetson Nano开发板;响应矩阵