用于宽温度范围摆镜控制的电容角位移传感器

来源：电子测量技术杂志2025年第11期北京时间：

作者：查伟，杨明庆，陈青山，王艳林

单位：北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京 100192

摘要：为了实现摆镜系统在宽温度范围内的稳定控制，研究电容角位移传感器的温度漂移抑制方法。采用高频复合陶瓷材料作为传感器介质，并通过对称式差分测量电路及自动增益控制电路的温漂抑制措施，降低温度变化对传感器输出信号的干扰。对传感器在-40℃~+60℃的温度范围内输出电压和偏转角度进行测试，实验结果表明，改进后的电容角位移传感器在宽温度范围内输出电压的最大温漂为0.87 V，最大角度漂移为0.63′，温度漂移为11.67 ppm/℃，其性能显著优于传统电容式传感器，所采用的温漂抑制措施可有效降低温度变化对摆镜控制精度的影响，适用于宽温度范围内的高精度摆镜系统。

关键词：电容式传感器;摆镜控制;宽温度范围;角度测量

基金资助：安徽省科技攻坚计划项目（202423k09020019）资助