微纳电子技术
时间：2014年04月23日 分类：电子期刊 次数：
微纳电子技术简介
《微纳电子技术》杂志是由信息产业部主管，电子十三所主办的自然科学、技术类期刊，是由国家新闻出版署批准公开发行的中国第一家有关纳米技术的刊物。《微纳电子技术》杂志是由1964年创刊的《半导体情报》改刊后，于2002年1月创刊的。本刊曾用刊名：半导体情报。
微纳电子技术期刊宗旨
杂志以宣传、介绍和交流21世纪最有希望的纳米技术中的纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料和纳米测量技术、MEMS器件与技术为主要内容，兼顾纳米技术的推广和应用技术，同时对国内外纳米材料和器件研究的最新发现、发明、研究和制造给予跟踪和及时报道。
微纳电子技术栏目
专家论谈、纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。
微纳电子技术目录
两点量子元胞自动机逻辑电路设计与仿真汪志春
磁流变液的制备及其表面张力系数的实验研究吴继荣
InP在太阳电池中的应用及进展李玉茹
离心芯片上虹吸阀的设计与制备杨儒元
MEMS自供能压电电磁集成发电研究现状杜小振
溶解氧传感器研究进展尚景玉
电共轭液的应用现状李丹
一种高效低成本制作三维聚焦微流沟道的方法杨潞霞
先导光刻中的光学邻近效应修正韦亚一
无氨氮化硅薄膜在MEMS硅腐蚀中的应用胥超
MEMS加速度计可靠性评价技术张瑞霞
磁流变液的制备及其表面张力系数的实验研究吴继荣
InP在太阳电池中的应用及进展李玉茹
离心芯片上虹吸阀的设计与制备杨儒元
MEMS自供能压电电磁集成发电研究现状杜小振
溶解氧传感器研究进展尚景玉
电共轭液的应用现状李丹
一种高效低成本制作三维聚焦微流沟道的方法杨潞霞
先导光刻中的光学邻近效应修正韦亚一
无氨氮化硅薄膜在MEMS硅腐蚀中的应用胥超
MEMS加速度计可靠性评价技术张瑞霞
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