基于过程数据分析的彩色滤光片产线故障机台定位
来源：计算机集成制造系统杂志2020年第5期北京时间：
作者：刘仁俊,孙兆辉,张莉,程光,明新国
单位：1.上海交通大学机械与动力工程学院2.上海仪电显示材料有限公司
摘要：为了完成复杂工艺彩色滤光片产线的故障定位问题,提出一种将加工过程数据和机台警报融合分析的故障定位模型。在该模型中,基于缺陷类型和面积权重评分确定多缺陷共存时的滤光片主缺陷标签,通过Xgboost集成方法训练加工过程数据与缺陷的关联模型,以信息熵增益确定各个过程数据源的贡献度;基于K-means聚类机台警报划分各个故障问题子集,以警报来源反推机台故障概率,进而以D-S证据理论融合两者进行判断,确定综合问题机台概率。通过实例验证了该方法的有效性。
关键词：故障机台定位,过程数据分析,集成模型,信息融合,彩色滤光片
基金资助：国家自然科学基金重点资助项目(71632008);航空发动机及燃气轮机重大专项基础研究资助项目(2017-I-0007-0008,2017-I-0011-0012)。
