纳秒脉冲激光加工高反射率铝膜

来源：激光技术杂志2019年第6期北京时间：

作者：吴鹏, 范云茹, 郭嘉伟, 刘晓旭, 周强, 邓光伟, 宋海智, 王浟

摘要：为了研究基于近红外纳秒脉冲激光的高反射率金属薄膜的加工可行性以及加工效果, 采用纳秒脉冲激光对高反射率铝膜进行激光加工, 分别测量了在不同激光光斑尺寸和不同激光能量的条件下, 铝膜表面所发生的烧蚀形态变化。结果表明, 即使铝膜表面反射率高达96%, 依然能对铝膜进行激光加工; 使用较高功率激光对铝膜表面进行离焦加工(能量密度约小于1000J/mm2)的烧蚀图样比使用较低功率激光对铝膜表面进行对焦加工(能量密度约大于2000J/mm2)的烧蚀图样更加规则。相关实验结果对激光加工高反射率材料时激光参量的选择可起到一定的指导作用。

关键词：激光技术, 激光加工, 纳秒脉冲, 高反射率, 金属铝膜