PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

来源：激光技术杂志2019年第4期北京时间：

作者：郭春付, 张传维, 李伟奇, 李晓平, 刘世元

摘要：为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚, 采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测量的PET复合衬底上TiO2梯度折射率薄膜厚度为212.48nm, 扫描电子显微镜的测量结果为211nm, 结果非常准确。以TiO2为例验证了等效衬底方法, 该方法也同样适用于其它介质膜。等效衬底法可实现PET复合衬底上的TiO2薄膜厚度的高精度测量表征, 对镀膜工艺过程监控具有重要意义。

关键词：测量与计量, 聚对苯二甲酸乙二醇酯, 复合衬底, 介质膜, 光谱椭偏, 膜厚