用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统
来源：激光技术杂志2016年第3期北京时间：
作者：尹广玥, 游利兵, 方晓东
摘要：介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状,指出了其在平板显示行业的重要意义。
关键词：激光技术, 平板显示, 准分子激光退火, 低温多晶硅, 光束整形, 匀光
