基于晶圆优先级的连续型Interbay搬运系统性能分析

来源：浙江大学学报·工学版杂志2015年第2期北京时间：

作者：周炳海, 陈锦祥, 赵猛

单位：同济大学 机械与能源工程学院,上海 201804

摘要：为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能，采用基于排队论的方法构建了性能分析模型.在建模过程中，为了使搬运路径多样化，引入了带外环和捷径的脊背式搬运系统.通过控制晶圆进入外环与捷径的优先级，实现了较高优先级的晶圆能快到达目的地.考虑服务时间变动性，引用相关满足系统排队实际的排队模型，构建系统期望在制品的数学表达.在相同的实验条件下，通过分析性能分析模型与Arena仿真模型得到的系统在制品量，验证本文提出的性能分析模型的准确性.实验结果表明，任何情形下的绝对误差都控制在5%以下，性能分析模型完全能满足系统性能评价的要求.

关键词：

基金资助：国家自然科学基金项目（61273035，71471135）；国家“863”高技术研究发展计划项目（2009AA043000）