基于粒子群算法的固晶机输入整形抑振方法研究

来源：振动与冲击杂志2025年第18期北京时间：

作者：周轩，王林康，陈柏chenbye@nuaa，王敕

单位：1.南京航空航天大学机电学院，南京210016；2.苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司，江苏 苏州215000

摘要：针对芯片固晶机运动高速高频运动导致其键合头振动冲击大、振动衰减时间长，同时原有控制系统无法检测和抑制键合头末端振动、键合精度难以长时间保持的难题，提出基于优化输入整形的抑振方法。分析固晶机键合头的运动和振动特征，提出基于输入整形的振动抑制方法；构建二阶系统仿真分析模型，基于粒子群算法对输入整形器的种类、脉冲幅值和时滞等参数寻优，简化构建流程，提升抑振效果；搭建固晶机单轴运动系统，对基于粒子群算法优化的输入整形抑振方法进行实验验证，结果表明：该方法将使系统残余振动最大幅值降低了71.3%，运动开始到加速度整定至稳态时间减少了34%。<br>

关键词：芯片键合；输入整形；粒子群算法；残余振动。