气动巨量转移机构刺晶减振控制

来源：振动与冲击杂志2025年第11期北京时间：

作者：刘强，，樊竞超fanjingchao099，牛萍娟，陈云喆，孙海威

单位：1.北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所，北京102617；2.天津工业大学分离膜与膜过程国家重点实验室，天津300387；3.北京海炬科技有限公司，北京100176

摘要：针对气动针刺式巨量转机构在高速、高频刺晶过程横梁扭转振动影响转移精度问题，提出了一种基于动态平衡法的双边侧挂直线电机主动减振方案，基于同步反向运动的针刺系统和随动系统，建立了横梁扭转振动幅值的数学模型，并使用有限元法对运动过程进行瞬态分析。直线电机电流控制上采用了BP-PID (Back Propagation- Process Identifier)方法调控参数，提高了电流函数收敛速度，降低了启动电流超调量，优化了电机推力的控制方法。试验表明，在不间断加速模式与高速启停模式下分别减小横梁振幅86.74%与84.47%，证明了动态平衡法主动减振结构对抑制气动针刺巨量转移装置横梁扭转振动效果明显，对巨量转移精度提升具有重要意义。<br>

关键词：巨量转移；Mini/Micro LED；主动减振；有限元