微薄膜多场耦合非线性振动分析
来源：振动与冲击杂志2017年第23期北京时间：
作者：付晓瑞 ，党亚辉 ，许立忠
单位：燕山大学 机械工程学院，河北秦皇岛 066004
摘要：本文将微谐振压力传感器谐振薄膜简化为微薄膜多场耦合系统，给出考虑分子力作用时微薄膜多场耦合动力学方程，利用Linz Ted-Poincaré方法求得其非线性振动固有频率与振型方程，研究了分子力对薄膜非线性固有频率及自由振动的影响规律，利用微加工技术制作出谐振薄膜，利用静电激励-电容检测方法对薄膜非线性固有频率进行了测试。结果表明：当薄膜尺寸较小时，分子力对于微薄膜多场耦合非线性振动的固有频率具有较大影响。研究结果对于压力传感器进一步微型化具有指导意义。<br>
关键词：分子力；多场耦合；非线性振动；MEMS
