基于在线升级主样本建模的批次过程<em>k</em>NN故障检测方法

来源：信息与控制杂志2014年第4期北京时间：

作者：郭金玉, 陈海彬, 李元

摘要：针对批次过程故障检测建模样本数据量大、 重复性强、 噪声干扰多、 数据利用率低等问题，提出了一种基于在线升级主样本建模（PSM）的kNN故障检测方法．首先，通过对原始数据样本间协方差、 相关系数、 样本方差等统计特征的分析进行主样本的提取，使原始数据空间得到压缩，并将新采集的正常数据代入主样本模型，使得主样本空间得到在线升级．然后，基于在线升级的主样本建模运用k最近邻规则（kNN）进行批次过程故障检测．最后，在多阶段半导体生产过程中的成功应用验证了该方法的有效性．

关键词：建模, <em>k</em>最近邻（<em>k</em>NN）, 故障检测, 批次过程