基于稀疏距离的间歇过程故障检测方法

来源：信息与控制杂志2014年第5期北京时间：

作者：张成, 李元, 高宪文

摘要：针对间歇过程多工序、变量非线性、非高斯分布等特征，提出了一种基于稀疏距离的故障检测方法（FD-SD）．采用稀疏距离衡量测试样本周围训练样本的分布密度，统计测试样本近距离训练样本分布特征，应用变窗宽核密度估计方法估算样本距离的累计分布函数，根据阈值计算样本的稀疏距离．根据稀疏距离的累计分布函数设定检测控制限，建立基于稀疏距离的检测模型．该方法可以避免变量服从高斯、线性分布等假设问题，同时使故障检测的准确性与可靠性得到提高．通过在模拟实例和半导体蚀刻批次过程中的仿真应用，说明该方法可以处理过程具有非线性、多模态、多工序生产特征的故障检测问题．仿真实验验证了方法的有效性．

关键词：稀疏距离, 故障检测, 主元分析, 间歇过程