面向单臂组合设备中紧急订单的调度

来源：信息与控制杂志2023年第5期北京时间：

作者：李金成, 潘春荣

摘要：随着晶圆制造模式向多品种、小批量的转变，在实际生产过程中频繁出现紧急订单插入的情况，不合理的调度策略将降低组合设备生产效率。为了提高组合设备的生产柔性，研究了在考虑晶圆逗留时间约束条件下，单臂组合设备面对紧急插单时的调度问题。首先，对紧急插单的加工过程进行分析，提出针对单臂组合设备的机械手调度规则，实现了加工过程的可调度性。其次，对于因加工参数不同产生的两种加工状态，分别推导出可调度性判断条件，然后给出用于求解机械手等待时间的数学解析式。最后，提出组合设备面对紧急插单时的最优调度算法，并通过实例验证和对比分析的方法验证了该调度方法的有效性。

关键词：晶圆制造, 组合设备, 时间约束, 紧急订单