偏正无关光纤干涉仪及其微位移测量应用

来源：上海理工大学学报杂志2018年第4期北京时间：

作者：叶有祥

单位：上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093;中国计量大学 光学与电子科技学院, 杭州 310018,中国计量大学 光学与电子科技学院, 杭州 310018,中国科学院 安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031

摘要：提出了一种与偏振无关的新型光纤干涉仪，采用端面镀膜的光纤自聚焦准直器，结合球凸透镜构成共光路光纤干涉仪，其探测光与参考光在同一根普通单模光纤中共光路传输，有效消除了偏振衰落影响。通过理论建模分析，并采用高精度的压电陶瓷作为稳定信号源，搭建了微位移测量平台，实测了三角波驱动电压信号与对应的干涉信号。研究了不同扫描电压下，压电陶瓷位移和驱动电压的关系。实验结果表明，该光纤干涉仪可实现微小位移的精密测量，在超精密机床振动、微型机械、传感等方面具有应用价值。

关键词：微位移测量;光纤干涉仪;共光路干涉

基金资助：浙江省科技厅公益项目（2017C33005）