通风孔对压电麦克风低频响应的影响研究

来源：上海理工大学学报杂志2019年第5期北京时间：

作者：华晴

单位：上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093,上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093;同济大学 道路与交通工程教育部重点实验室, 上海 200092,领科教育上海校区, 上海 201615,上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093

摘要：根据压电麦克风的工作原理建立压电传感器的集总元件等效声电模型，分析通风孔结构对压电麦克风灵敏度的影响。通过有限元建模，研究通风孔的几何尺寸对压电麦克风低频输出的影响。通风孔位于硅基的位置不影响麦克风的低频输出。通风孔的横截面积一定时，长度越长，低频响应越快。通风孔的长度一定时，横截面积越小，低频响应越好。如果要达到相同的低频位移输出，通风孔的横截面积比为2倍时，长度比应为4倍。

关键词：压电麦克风;通风孔;集总元件模型;等效电路模型

基金资助：国家自然科学基金资助项目（U734211）；上海市科委科研项目（17DZ1100106）