脉冲叠加直流激励辉光放电特性

来源：上海理工大学学报杂志2022年第5期北京时间：

作者：姜松，丁起行，饶俊峰，王永刚

单位：上海理工大学 机械工程学院，上海 200093,上海理工大学 机械工程学院，上海 200093,上海理工大学 机械工程学院，上海 200093,上海理工大学 机械工程学院，上海 200093

摘要：辉光放电产生的低温等离子体具有广泛的应用前景，日益成为研究热点。本文提出了一种采用脉冲叠加直流的方式来激励辉光放电的实验装置。选取氩气作为反应气体，本实验在低气压下进行，利用参数可调的高频脉冲电源和直流电源进行激励。研究了不同激励方式下击穿电压和电流的变化规律。实验发现：直流辉光放电击穿电压最低，约为380 V，但是在放电过程中放电管发热比较严重；脉冲辉光放电所需击穿电压为450～600 V，但其存在反复击穿；而脉冲叠加直流激励辉光放电则降低了脉冲击穿电压，最低约为400 V，且改善了放电管发热严重的问题。

关键词：高频脉冲电源;直流电源;辉光放电;击穿电压;放电电流

基金资助：上海市科学技术委员会“科技创新行动计划”扬帆计划项目 （19YF1435000）