三级混凝沉淀+立体生态+人工湿地组合工艺处理芯片废水工程实例

来源：水处理技术杂志2026年第1期北京时间：

作者：刘洋, 王小江, 王伟绵, 黄志, 李芳玲, 林武

单位：深圳市环境科学研究院,广东 深圳 518001

摘要：针对南方某芯片企业排放的尾水,采用“三级混凝沉淀+立体生态+人工湿地”工艺进行深度处理。工程运行结果表明,在进水氟离子浓度在6.32~27.76 mg/L时,三级混凝沉淀工艺对氟离子去除率可达95%以上。综合废水水质COD 57.4~212.8 mg/L、总磷 0.78~3.18 mg/L、氨氮 5.54~68.56 mg/L、总氮 14.92~95.02 mg/L时,立体生态与人工湿地生化生态组合工艺对COD、总磷、氨氮和总氮去除率平均值分别可达88.5%、92.2%、98.8%和82.3%。工程出水水质氟化物≤1 mg/L,COD≤20 mg/L,氨氮≤1 mg/L,总磷≤0.2 mg/L,出水水质优于《地表水环境质量标准》（GB 3838–2002）Ⅲ类标准和回用水水质要求。本工程为芯片废水高标准深度处理提供了一定技术参考。

关键词：含氟废水,三级除氟,生物富集,人工湿地