流化床结晶技术处理半导体含氟废水研究进展

来源：水处理技术杂志2026年第3期北京时间：

作者：梁栋1, 孔爱华2, 王彪3, 刘涛1, 邢美燕1,*

单位：1.同济大学环境科学与工程学院, 上海 200092;2.烟台市栖霞环境监控中心, 山东 烟台 265300;3.济泽环保科技（上海）有限公司, 上海 200080

摘要：电子工业中半导体晶圆芯片与光伏电池等产品的生产过程会产生大量含氟废水,流化床结晶（FBC）技术提供了一种可持续解决方案,回收废水中氟化物以实现电子工业废水的近零排放。FBC是一种利用结晶学原理的连续流固-液分离系统,通过控制溶液中离子过饱和度,使离子对在悬浮颗粒表面结晶并产出可回收的晶体产品。半导体废水来源多样、成分复杂,对结晶过程有不同影响,秉持具体问题具体分析的原则,论文梳理了半导体生产过程中的各类废水性质以及杂质对共结晶的作用。FBC的运行逻辑涵盖流体动力学、晶体成核及生长动力学,工艺参数的调控对整体效能至关重要,FBC技术的推广应聚焦于复杂进水工况的应对策略,并寻求与其他工艺集成以融入循环经济框架。

关键词：流化床,结晶,含氟废水,半导体,零液体排放

基金资助：同济大学“双带头人”教师党支部书记学术能力提升计划（0400219423）; 国家自然科学基金资助面上项目（51679168）