采用CMOS工艺的W波段相控阵收发机设计

来源：雷达科学与技术杂志2022年第4期北京时间：

作者：朱伟，王瑞涛，王燕

单位：清华大学集成电路学院， 北京 100084

摘要：W波段（75~110 GHz）拥有大可用带宽、低大气损耗、短波长以及在多尘和多雾条件下工作的能力，因此具有巨大的应用潜力，涵盖从通信、传感、成像到短程高速数据通信的多个领域。因此，W波段收发机的研究和应用受到了越来越多的关注。本文提出了基于耦合线的收发开关、移相器和衰减器，旨在对应用于W波段的CMOS毫米波相控阵收发机芯片中重要模块和关键技术予以研究。其中，收发开关在复用为功率放大器的输出匹配网络和低噪声放大器的输入匹配网络的同时有效降低了插入损耗，移相器和衰减器实现了极高的分辨率。以上3个关键模块的实现原理和电路设计均在文中进行了详细的阐述，并通过了流片验证。仿真结果和测试结果说明了采用CMOS工艺制造W波段相控阵芯片的可实现性。

关键词：CMOS工艺,毫米波,相控阵收发机,收发开关,移相器,衰减器,