玻璃基微纳通道制造与阻值规律研究

来源：机械与电子杂志2017年第03期北京时间：

作者：吴必成;姚志远;张亚飞

单位： 机 械 结 构 力 学 及 控 制 国 家 重 点 实 验 室 ，江 苏 南 京２１００１６

摘要：玻 璃 基 毛 细 管 加 热 系 统 拉 制 的 微 纳 通 道 的 尖 端 会 有 堵 塞 现 象 ，为 了 改 进 微 纳 通 道 的 制 造 技 术与 研 究 其 阻 值 规 律 ，建 立 了 一 套 磨 针 仪 与 电 测 系 统 。 首 先 ，用 玻 璃 基 毛 细 管 加 热 系 统 制 备 外 径 １ ．５ ～ １０μ ｍ的 玻 璃 基 毛 细 管 ，通 过 基 于 超 声 电 机 与 振 动 学 原 理 制 造 出 的 磨 针 仪 磨 制 毛 细 管 的 尖 端 ，然 后 用 电 测 法 判 断磨 制 后 毛 细 管 尖 端 是 否 为 通 道 。 对 于 通 道 ，用 插 值 法 拟 合 函 数 对 内 径 小 于 １０μ ｍ的 玻 璃 基 通 道 的 尖 端 内 电阻 阻 值 进 行 计 算 ，研 究 电 阻 和 通 道 尖 端 内 径 的 相 关 规 律 。 实 验 结 果 表 明 ，该 磨 针 仪 成 功 地 磨 制 出 孔 内 径 小于 ２μ ｍ的 玻 璃 基 微 纳 通 道 ，通 道 内 的 阻 值 和 通 道 尖 端 内 径 成 反 比 关 系 。

关键词：直 线 超 声 电 机 ;弯 曲 振 动 ;微 纳 通 道 ;电 测 法