面向晶圆图的芯片定位方法
来源：机械与电子杂志2021年第10期北京时间：
作者：杨东旭;李宏军;郝晓博;吴立丰
单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 ０５００５１
摘要：针对在依据晶圆图进行芯片分选时出现的芯片错位问题,提出了一种面向晶圆图的芯片定位方法.基于晶圆上芯片分布特点,采用跳点优化后的 A ? 算法进行路径规划,搜寻绕过工艺控制监测器( PCM )区域的最优路径,并按芯片的理论间隔距离移动,实现粗略定位;采用改进后的 LINE-２D 形状匹配算法对当前位置进行亚像素精度级的校正,实现精确定位.选择不同规格的晶圆在芯片分选机上进行多次实验,所提出的方法可基本解决芯片错位的问题,同时可提高芯片定位精度,满足芯片生产需求.
关键词：芯片定位;晶圆图;路径规划;LINE-２D
