基于LabVIEW的迈克尔逊干涉微位移测量方法研究

来源：机械与电子杂志2021年第01期北京时间：

作者：李晓飞;张周强;张守京;周玲

单位：西安工程大学机电工程学院，陕西 西安 710600

摘要：针对传统干涉条纹人工计数测量方法稳定性差、人为误差大的缺点，提出了一种迈克尔逊干涉条纹图像处理的方法。该方法以CCD相机采集干涉图像，基于LabVIEW平台进行图像处理。根据干涉条纹中心区域暗斑区域面积呈周期性变化的规律，通过对干涉条纹进行图像增强、中值滤波、区域选择、灰度均值计算等分析步骤，对干涉条纹计数，进而测得物体的微小位移量。实验结果表明，该方法实现了迈克尔逊干涉0.02mm微小位移量的精确测量，测量误差最小为0.3%。与传统方法相比，其稳定性、误差、精确度都有较大提升。

关键词：迈克尔逊干涉;干涉条纹;LabVIEW;图像处理