MEMS 高温压阻式压力传感器闭环控制方法

来源：机械与电子杂志2023年第12期北京时间：

作者：杨恩龙;殷展;魏毅;杨清海

单位：国网上海市电力公司嘉定供电公司,上海 201800

摘要：为提高 MEMS 高温压阻式压力传感器的整体性能,提出一种 MEMS 高温压阻式压力传感器闭环控制方法。明确 MEMS 高温压阻式压力传感器在工作过程中产生的变谐效应,分析了静电驱动和电容检测。根据分析结果设计出闭环控制策略,在闭环控制过程中采用二元差值算法补偿传感器的温度误差,提高控制精度。通过灵敏度校准和零点失调校准,实现了 MEMS 高温压阻式压力传感器的闭环控制。试验结果表明,所提方法的控制精度高、信号采集准确率高及控制性能好。

关键词：MEMS 高温压阻式压力传感器;变谐效应分析;二元差值算法;误差补偿;闭环控制

基金资助：国家电网有限公司科技项目( SGSHJD00BGJS2101991 )