基于 Canny-Harris 角点检测的光学元件表面疵病检测

来源：机械与电子杂志2024年第08期北京时间：

作者：王赛赛;周阿维

单位：西安工程大学机电工程学院,陕西 西安 710600

摘要：为提高光学元件表面疵病检测的准确性,提出了一种基于 Canny-Harris 角点检测的光学元件表面疵病检测方法。该方法首先利用基于迭代式阈值的 Canny 算子对图像进行边缘检测,得到候选角点;接着,利用基于局部窗口角点密度的可变窗口非极大值抑制方法去除候选角点中的伪角点,以得到检测精度更高的 Canny-Harris 角点检测算法;然后,利用 Canny-Harris 角点检测算法进行图像拼接,并利用边界测定法提取出拼接图像中的疵病特征;最后,通过计算疵病的形状因子,实现对疵病的分类。实验结果表明,该方法能够成功实现子孔径图像的精确拼接,并准确地检测出光学元件表面疵病信息。

关键词：光学元件;疵病检测;Canny-Harris 算法;图像拼接;疵病识别

基金资助：陕西省自然科学基础研究计划资助项目( 2018JQ5180 )