氯硅烷中甲基二氯硅烷的转化反应工艺 急

来源：精细化工杂志2020年第4期北京时间：

作者：张明鑫

摘要：为了除去多晶硅原料中主要含碳杂质甲基二氯硅烷，通过催化反应将其转化为高沸点物质甲基三氯硅烷。采用浸渍法制备了Pd/Al2O3催化剂，采用X射线荧光光谱（XRF）、X射线粉末衍射（XRD）、N2吸附脱附（BET）、光电子能谱仪（XPS）、H2-脉冲化学吸附等分析手段对催化剂物化性质进行表征。在氯源物质为四氯化碳条件下，利用固定床反应器，对比了制备的Pd/Al2O3催化剂与树脂A催化剂和AlCl3/ Al2O3催化剂的催化效果,考察了Pd/Al2O3催化条件下，反应温度、反应物配比、反应空速及催化剂稳定性对甲基二氯硅烷转化率的影响，得到了最佳工艺条件。Pd/Al2O3催化剂相比于树脂A催化剂和AlCl3/ Al2O3催化剂，Pd/Al2O3催化剂具有更好的催化效果；在反应温度为140℃、n(甲基二氯硅烷):n(四氯化碳)=3:1、反应液时空速为5.0h-1时，甲基二氯硅烷转化率最高可以达到69.76%。

关键词：氯硅烷;甲基二氯硅烷;Pd/Al2O3催化剂;催化（作用）;反应;固定床

基金资助：国家自然科学基金项目（面上项目，重点项目，重大项目）