基于天然高分子的可再生光刻材料及其光刻机理的研究进展

来源：精细化工杂志2021年第10期北京时间：

作者：王守宏

摘要：基于天然高分子的新型光刻材料与石油原料的传统光刻材料相比，不仅保留了高分辨率的光刻性能，还具有绿色可再生和无毒显影等优点。本文综述了天然高分子光刻材料中的蛋白类光刻材料和多糖类光刻材料，系统的总结了各种天然高分子光刻材料的优缺点。通过对不同材料光刻机理的深入研究，得出蛋白质光刻材料的光刻机理主要依靠辐射改变蛋白结构，使其溶解度在显影液中发生改变实现光刻；而天然多糖类光刻材料则主要依赖引入光响应基团实现光刻。最后本文对基于天然高分子的可再生光刻材料的现存问题进行了分析并对发展前景做出了展望。

关键词：天然高分子;可再生;光刻材料;动物蛋白;天然多糖;光刻机理

基金资助：国家自然科学基金项目（面上项目，重点项目，重大项目）