面向产品族优化时间窗下可重入批处理机调度

来源：机械工程学报杂志2015年第12期北京时间：

作者：贾文友, 江志斌, 李友

单位：1.上海交通大学机械与动力工程学院 上海 200240;2.安徽工程大学机械与汽车工程学院 芜湖 241000

摘要：在半导体晶圆制造系统中，具有不确定交货时间窗和不相容产品族的可重入批处理机优化调度是NP-难问题。针对该问题，提出面向产品族的三层滚动混合整数线性规划模型的优化调度算法，其优化目标是提前和误工的时间总和最小。该算法是基于时间序列模型和事件模型的混合分解策略，在可重入批处理机空闲、可用的事件触发下，将整个调度时间轴分解为滚动的时间域；每个时间域对应一个子问题；每个子问题分解为三层：排序、派工和更新；半导体晶圆制造系统实时调度仿真平台用于派工、更新和时域滚动，混合整数线性规划模型用于排序。通过6种典型情形实例验证，结果表明面向产品族的三层滚动混合整数线性规划模型能够在较短计算时间内获得较好优化解。

关键词：不确定交货时间窗,可重入批处理机,面向产品族,三层滚动混合整数线性规划；

基金资助：国家科技重大专项资助项目(2011ZX02501-005)