“纳米制造的基础研究”重大研究计划研究进展

来源：机械工程学报杂志2016年第5期北京时间：

作者：王国彪, 邵金友, 宋建丽, 赖一楠

单位：1. 国家自然科学基金委员会工程与材料科学部 北京 100085; 2. 西安交通大学机械工程学院 西安 710049; 3. 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京 100192

摘要：国家自然科学基金委员会( National Natural Science Foundation of China, NSFC)重大研究计划“纳米制造的基础研究”瞄准学科发展前沿、面向国家发展的重大战略需求,旨在针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造中的基础科学问题,探索纳米制造过程的基本规律,发展若干原创性的纳米制造工艺与装备原理,为实现纳米制造的一致性与批量化提供理论基础。介绍“纳米制造的基础研究”重大研究计划实施6年来的申请、资助情况和实施过程中采取的管理举措;回顾该重大研究计划在学科交叉融合、国内重大科研仪器与基础试验技能共享等方面获得的显著成效;总结项目研究团队在光学自由曲面抛光、晶圆平坦化与减薄、纳米切削、电场辅助纳米压印光刻、超快激光加工和半导体器件制造等方面取得的原创性成果和突出进展;同时,简要介绍了依托这些成果立项的4个集成项目的基本情况。

关键词：管理举措,纳米制造,研究进展,重大研究计划；

基金资助：* 国家自然科学基金资助项目(91123021); 资助项数; 资助金额/万元