大中型光学元件高效精密磨削技术研究综述

来源：机械工程学报杂志2016年第9期北京时间：

作者：金滩, 李平, 肖航, 吴耀

单位：湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 长沙 410082

摘要：近年来,大中型光学元件(包括平面、球面、非球面及自由曲面)在大型天文望远镜、高功率激光核聚变装置及精密光学测量装置的应用日益广泛,其大批量生产需求驱动了高效精密磨削技术的长足发展。然而,超精密大中型光学元件的短周期、大批量生产对现阶段光学制造能力提出了巨大挑战,同时也推动着其磨削装备技术和磨削工艺技术向更高效率、更高精度及更高自动化水平的方向发展。系统总结大中型光学元件磨削装备技术中机床整机、主轴单元、进给工作台、数控系统和磨削工艺技术中脆性材料塑性去除机理、磨削工具、磨削液及其注入方式、工艺路线规划、检测、误差建模及补偿、环境监控等技术的研究现状,并对上述关键技术问题进行详尽的分析。同时,提出解决上述问题的可能性对策,预测和展望大中型光学元件高效精密磨削技术未来发展趋势。

关键词：大中型光学元件,高效精密磨削技术,磨削工艺,磨削装备；

基金资助：国家自然科学基金(751215083)和国家科技支撑计划(797102003)资助项目